Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)

Röntgen-Photoelektronenspektroskopie ist eine oberflächenanalytische Methode, bei der durch Röntgenstrahlung ausgelöste Photoelektronen hinsichtlich ihrer kinetischen Energie analysiert werden. Aus den Bindungsenergien lassen sich Elementzusammensetzung, chemische Zustände und elektronische Struktur der obersten ca. 1–10 nm eines Werkstoffs bestimmen. XPS ist zentral für die Charakterisierung von Oxidschichten, Grenzflächen und funktionalen Beschichtungen.