Analyseverfahren, das charakteristische Röntgenstrahlung zur chemischen Elementbestimmung nutzt. In Rasterelektronenmikroskopen werden emittierte Photonen energiedispersiv detektiert, wodurch qualitative und halbquantitative Zusammensetzungen und Elementverteilungen mit µm‑bis sub‑µm‑Auflösung möglich sind. Einschränkungen betreffen leichte Elementerkennung, Probenvorbereitung, Detektorauflösung und Signalüberlagerungen.