Röntgenfluoreszenz (XRF) ist eine nicht-destruktive Methode zur elementaren Analytik, bei der Anregung durch Röntgenstrahlung charakteristische Fluoreszenzphotonen freisetzt. XRF ermöglicht schnelle, meist quantifizierbare Bestimmung von Metallen und Legierungselementen in Feststoffen und Schichten; Mikro-XRF liefert laterale Karten, Kalibrierung und Matrixeffekte sind zu berücksichtigen.