Röntgen-Fluoreszenz ist eine spektroskopische Methode zur elementaren Analyse, bei der durch Röntgenanregung charakteristische Sekundärstrahlung emittiert wird. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie zerstörungsfreie Bestimmung von Legierungszusammensetzungen, Spurenelementen und Schichtdicken. Quantitative Auswertung erfordert Matrix- und Selbstabsorptionskorrekturen sowie geeignete Kalibrierstandards.