Elementaranalyse umfasst quantitative und qualitative Bestimmung der chemischen Elementzusammensetzung von Werkstoffen. Typische Methoden sind OES, XRF, ICP-OES/MS, Verbrennungsanalytik für C/S/N/O/H, sowie EDX/WDX im REM/EPMA. Sie dienen der Legierungscharakterisierung, Reinheitskontrolle, Detektion von Spurenelementen und Diffusionsprofilen und sind essenziell für Phasendiagramme, Prozessüberwachung und Fehleranalysen.