Die Oberflächenzusammensetzung beschreibt die chemische und oft auch elektronische Struktur der äußersten Atomlagen eines Werkstoffs, einschließlich Elemente, Oxidationszustände und Adsorbate. Sie weicht häufig von der Volumenchemie ab und bestimmt Korrosionsverhalten, Adhäsion, Benetzbarkeit, Katalyse und Grenzflächeneigenschaften. Analysiert wird sie mittels Techniken wie XPS, AES, TOF-SIMS oder EDX und gezielt durch Beschichtungen, Dotierungen oder Behandlungen eingestellt.