SEM/EDX-Analyse kombiniert Rasterelektronenmikroskopie mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie zur simultanen Erfassung von Mikrostruktur und Elementverteilung. Elektronenstrahl-induzierte Röntgenemission erlaubt qualitative und quantitative Analyse ab etwa Z≥5, inklusive Linien- und Flächenmapping. In der Werkstoffwissenschaft wird das Verfahren zur Charakterisierung von Phasen, Ausscheidungen, Einschlüssen, Diffusionszonen und Korrosionsprodukten eingesetzt.