Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) ist eine rasterelektronenmikroskopische Zusatztechnik zur Elementanalyse durch Messung charakteristischer Röntgenphotonen. Sie erlaubt punktuelle und flächenbezogene Qualifizierungs- und semi‑quantitative Analysen schwerer und leichter Elemente (je nach Detektor) zur Phasenidentifikation, Legierungsprüfung und Fehlstellenanalyse in Werkstoffen.