energiedispersive R�ntgenspektroskopie (EDX)

Energiedispersive Röntgenspektroskopie ist eine mikroanalytische Technik, bei der durch Elektronenbeschuss in SEM oder TEM charakteristische Röntgenstrahlung angeregter Atome detektiert wird. Ein Halbleiterdetektor misst die Photonenenergie und ermöglicht elementare Zuordnung und Quantifizierung. EDX liefert ortsaufgelöste Elementverteilungen, Linienprofile und Punktanalysen und ist zentral für Phasenidentifikation und Grenzflächenanalyse in Werkstoffen.