Eine Oxidschicht ist eine durch Reaktion mit Sauerstoff gebildete, meist wenige Nanometer bis Mikrometer dicke Deckschicht auf Metall- oder Halbleiteroberflächen. Sie beeinflusst Korrosionsbeständigkeit, Haftung, elektrische und optische Eigenschaften. Dichte, Zusammensetzung und Defektstruktur bestimmen ihre Schutzwirkung und Leitfähigkeit. Technisch werden Oxidschichten durch Passivierung, Anodisation oder Hochtemperaturoxidation gezielt eingestellt und charakterisiert.