Oberflächenoxide sind durch Reaktion mit Sauerstoff gebildete Oxidschichten auf Werkstoffen. Ihre Morphologie, Dicke und Defektstruktur steuern Korrosionsbeständigkeit, Haftung, elektrische und katalytische Eigenschaften. In Metallen können sie als Schutzschichten (Passivierung) wirken oder Versagensorte darstellen; in Keramiken und Halbleitern sind sie zentral für Grenzflächenleitfähigkeit und Funktionalität.