Oxidschichten sind festhaftende, meist wenige Nanometer bis Mikrometer dicke Oxidfilme, die sich durch Reaktion eines Werkstoffs mit oxidierenden Medien bilden. Sie bestimmen Korrosions- und Hochtemperatureigenschaften, elektrische Isolation oder Leitfähigkeit. Zusammensetzung, Defektstruktur, Spannungen und Morphologie der Oxide beeinflussen Schutzwirkung, Haftung und Versagensmechanismen.