Ultraschallreinigung nutzt hochfrequente Schallwellen in Flüssigkeiten zur Entfernung von Verunreinigungen durch Kavitation. Die kollabierenden Blasen erzeugen lokal hohe Drücke und Scherkräfte, die Partikel, Oxidschichten oder Bearbeitungsrückstände von Werkstoffoberflächen ablösen. In der Werkstoffwissenschaft ist sie essentiell für die Probenpräparation, Reinigung empfindlicher Mikro- und Nanostrukturen sowie für die Untersuchung oberflächeninduzierter Schädigungen und Änderungen der Grenzflächenchemie.