EBSD ist eine rasterelektronenmikroskopische Methode zur Analyse der Kristallorientierung, Phasenverteilung und Versetzungsstruktur polykristalliner Werkstoffe. Elektronenbeugungsmuster rückgestreuter Elektronen werden an einem Szintillator erfasst und mittels Indexierung ausgewertet. Dies erlaubt die Bestimmung von Textur, Korngrenzencharakter, lokaler Fehlorientierung und Deformationszustand mit hoher lateraler Auflösung und dient der Korrelation von Mikrostruktur mit mechanischen und funktionellen Eigenschaften.