Atomsondentomographie erzeugt dreidimensionale, atomgenaue Rekonstruktionen von Materialvolumina durch Feldverdampfung einzelner Atome und Zeit-aufgelöste Massenspektrometrie. Sie erlaubt lokale Zusammensetzungsanalysen, Clusteridentifikation und Grenzflächenuntersuchungen mit subnanometer Auflösung, jedoch begrenzt durch Probenform und Rekonstruktionsartefakte.
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