Bezeichnet hochpräzise Messungen der relativen Häufigkeiten stabiler oder radiogener Isotope eines Elements in Materialien. Mittels Techniken wie MC-ICP-MS, TIMS oder SIMS werden Prozesse wie Diffusion, Korrosion, Herkunft und Alter von Werkstoffen sowie Reaktionsmechanismen untersucht. Isotopenverhältnisse dienen als Tracer für Stofftransport und zur Aufklärung thermischer und geochemischer Historien.