ICP-TOF-MS kombiniert induktiv gekoppelte Plasmaionisation mit Flugzeit-Massenspektrometrie. Im Plasma werden Elemente nahezu vollständig atomisiert und ionisiert, die TOF‑Analyse ermöglicht simultane, hochdynamische Multielement‑ und Isotopenbestimmung. In der Werkstoffwissenschaft wird ICP‑TOF‑MS für ultrasensitive Elementquantifizierung, Nanopartikel‑Analyse, Spurenverunreinigungen und zeitaufgelöste Prozesse in Lösung und Festkörpern eingesetzt.