Ionenoptik

Ionenoptik beschäftigt sich mit der Erzeugung, Fokussierung, Ablenkung und Abbildung von Ionenstrahlen mittels elektrischer und magnetischer Felder. In der Werkstoffwissenschaft ist sie zentral für Sekundärionenmassenspektrometrie, Ionenmikroskopie, FIB-Präparation und Ionenimplantation. Durch Linsen, Blenden und Massenfilter werden Strahlenergie, Emittanz, Aberrationen und Massenauflösung kontrolliert, um ortsaufgelöste Analytik und gezielte Modifikation von Oberflächen und Volumina zu ermöglichen.