Ist eine oberflächenanalytische Technik, bei der ein Festkörper in einem Niederdruck-Plasma als Kathode dient. Sputterprozesse erzeugen ein Glimmen, dessen emittierte Linienspektren zur Bestimmung von Elementzusammensetzung und Tiefenprofilen genutzt werden. In der Werkstoffwissenschaft ist GD-OES wichtig für Schichtsysteme, Beschichtungen und Korrosionsschichten, da sie schnelle, weitgehend matrixunabhängige Multielement- und Tiefenanalysen mit hoher Dynamik ermöglicht.