In der werkstoffanalytischen Spektroskopie bezeichnen sie Überlagerungen von Signalen verschiedener Spezies oder Phasen, die quantitative Auswertung erschweren. Ursachen sind spektrale Linienüberlappung, Matrixeffekte, Streulicht oder Fluoreszenz. Spektrale Interferenzen treten etwa in ICP-OES, EDX oder Raman auf und werden durch höhere Auflösung, Hintergrundkorrektur, internale Standards, mathematische Entfaltung und geeignete Probenvorbereitung minimiert.