Glühedischarge-Massenspektrometrie ist eine zerstörende, tiefenauflösende Analytik, bei der eine Probe als Kathode in einer Glimmentladung dient. Sputternde Atome werden ionisiert und massenspektrometrisch detektiert. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie schnelle, quantitative Elementtiefenprofile von Metallen, Beschichtungen und Schichtsystemen mit Nachweis auch von Spuren- und Legierungselementen über große Tiefenbereiche.