Plasma-Massenspektrometrie nutzt ein induktiv gekoppeltes oder anderes Plasma zur Atomisierung und Ionisation von Proben, gefolgt von massenselektiver Detektion (ICP‑MS). In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie hochsensitive Spuren- und Ultra-Spurenanalyse von Legierungs- und Verunreinigungselementen, Isotopenverhältnissen sowie Partikelgrößenverteilungen. Matrixeffekte, Spektrenüberlagerungen und Probenaufbereitung (Aufschluss, Laserablation) sind entscheidend für Genauigkeit und Nachweisgrenzen.