Bearbeitungsverfahren auf der Mikroskala zur Modifizierung von Bauteiloberflächen finden in verschiedenen Bereichen von der Antriebstechnik über die Anlagentechnik bis hin zur Medizintechnik Anwendung. Den Einfluss der eingebrachten feinen Strukturen auf das Werkstoffstoffverhalten und die mechanischen Eigenschaften gilt es tiefergehend zu erforschen. Neben der Untersuchung des zyklischen und quasistatischen Verhaltens von mikrobearbeiteten Proben ist die Analyse des oberflächennahen Gefüges und der Härte von hoher Bedeutung. Die Nanoindentation lässt die Bestimmung lokaler mechanischer Eigenschaften in kleinen Analysevolumen zu. Die Anwendbarkeit dieses Verfahrens zur Bestimmung der Härte in oberflächennahen mikrobearbeiteten Bereichen inklusive metallographischer Präparation für den Reinwerkstoff cp-Titan wird in dieser Arbeit vorgestellt.