Metallographische Präparation ist eine Kunst, insbesondere, wenn relevante mikro- oder nanoskalig verborgene Informationen ausgewertet werden müssen. Vor allem das Verfahren der Elektronenrückstreubeugung (Electron Backscatter Diffraction, EBSD) liefert hier wertvolle Informationen über das Gefüge von Volumenmaterial und Beschichtungen. Tatsächlich sind Informationen zur Entwicklung der Morphologie, Größe und Orientierung von Körnern maßgeblich für das Design und die Herstellung neuer kommerzieller Beschichtungen. In dieser Arbeit wird die metallographische Präparation für eine EBSD-Analyse von Hartbeschichtungen vorgestellt, die sich aus einer Al₂O₃- und TiCN-Schicht zusammensetzen. Hierbei wird insbesondere auf die Präparationszeit beim Schleifen und Polieren eingegangen. Es werden EBSD-Daten vorgestellt und mit den Parametern der metallographischen Präparation korreliert. In den wichtigsten Schlussfolgerungen im Rahmen dieser Arbeit wird die Bedeutung der systematischen Vorbereitung aller aufeinanderfolgenden metallographischen Verfahren und des Verständnisses der Qualitätsparameter im Zusammenhang mit EBSD-Scans und -Datenverarbeitung hervorgehoben.