EBSD-Analysen (Electron Backscatter Diffraction) erfassen kristallographische Orientierung, Phasenverteilung und Gitterfehlorientierungen in polykristallinen Werkstoffen im REM. Sie liefern Orientierungs- und Phasenkarten, Texturen, Korngrenzcharaktere und lokale Fehlpassungen, die mit mechanischen Eigenschaften, Verformungsmechanismen und Schädigung korreliert werden. EBSD ist zentral für die Quantifizierung von Mikrostrukturen, Rekristallisation, Phasenumwandlungen und anisotroper Antwort von Metallen, Keramiken und Verbunden.