EDX-Spektroskopie ist eine röntgenemissionsbasierte Mikroanalytik, typischerweise gekoppelt an REM oder TEM, bei der charakteristische Röntgenstrahlung nach Elektronenanregung detektiert wird. Sie ermöglicht qualitative und quantitative Elementanalyse mit mikrometrischer bis nanometrischer Ortsauflösung. In der Werkstoffwissenschaft dient sie zur Phasenidentifikation, Kartierung von Legierungselementen, Analyse von Grenzflächen, Einschlüssen und Diffusionsprofilen.