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Tomographie in der Charakterisierung von Werkstoffen

Elektronentomographie

Elektronentomographie erzeugt dreidimensionale Rekonstruktionen aus Kippserien in TEM oder SEM zur Aufklärung nanoskaliger Morphologien. Rekonstruktionsalgorithmen wie SIRT oder WBP kompensieren unvollständige Winkelabdeckung; Probleme sind anisotrope Auflösung und Probenpräparation. Eingesetzt wird die Methode zur Analyse von Partikeln, Grenzflächen, Porosität und kristallinen Defekten.

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