Elektronenrückstreubeugung ist eine SEM-basierte Technik zur lokalen Kristallstrukturanalyse polykristalliner Werkstoffe. Rückgestreute Elektronen erzeugen im Kippwinkelbeugungsbild sogenannte Kikuchi‑Bänder, deren Auswertung Gitterorientierungen, Phasenidentifikation, Fehlorientierungen und Korngrenzencharakterisierung erlaubt. EBSD ermöglicht orientierungskartierte Mikrostrukturanalysen und ist zentral für Textur‑, Deformations- und Rekristallisationsstudien.