Ein flexibles Substrat ist eine mechanisch biege- oder dehnbare Trägerfolie für funktionale Schichten, z. B. Polymere, Metallfolien oder Dünnglas. In der Werkstoffwissenschaft ermöglichen sie flexible Elektronik, Sensorik und Photonik. Wichtige Eigenschaften sind thermische Stabilität, geringe Rauheit, chemische Beständigkeit, Barrierewirkung sowie Haftung und mechanische Kompatibilität mit den abgeschiedenen Dünnschichten.