Oberflächenrelief bezeichnet die topographischen Höhen- und Vertiefungsstrukturen einer Werkstoffoberfläche im Mikro- bis Nanometerbereich. Es entsteht durch Bearbeitung, Korrosion, Phasenumwandlungen oder plastische Deformation, etwa Schlupf- und Zwillingsbänder. Das Relief beeinflusst Benetzung, Reibung, Haftung und Ermüdung und wird mit Profilometrie, AFM und 3D-Konfokalmikroskopie quantitativ erfasst und mit mikrostrukturellen Mechanismen korreliert.