Oxidbeschichtungen sind dünne, häufig funktionale Oxidschichten, die durch Verfahren wie Oxidation, PVD, CVD oder Sol-Gel auf Werkstoffe aufgebracht werden. Sie dienen der Korrosions-, Oxidations- und Verschleißbeständigkeit, elektrischen Isolation, optischen Filterung oder Katalyse. Mikrostruktur, Phasenzusammensetzung, Defektdichte und Haftfestigkeit bestimmen die mechanischen, thermischen und elektronischen Eigenschaften sowie die Langzeitstabilität.