Dünne oder dicke Schichten auf Basis von Nitriden (z. B. TiN, CrN, AlTiN), die mittels PVD, CVD oder PE-CVD abgeschieden werden. Sie kombinieren hohe Härte, chemische Beständigkeit und thermische Stabilität mit einstellbarer Spannungs- und Mikrostruktur. Anwendungen reichen von Verschleiß- und Oxidationsschutz über Diffusionsbarrieren bis zu optischen und elektronischen Funktionsschichten. Mikrostruktur und Phasenzusammensetzung steuern Ermüdung, Adhäsion und Restspannungen.