Multilayer-Strukturen

Multilayer-Strukturen bestehen aus mehreren, oft nanoskalig dicken Schichten unterschiedlicher oder ähnlicher Materialien. Durch gezielte Sequenz, Dicke und Grenzflächenbeschaffenheit werden mechanische, optische, elektrische, magnetische oder Diffusionseigenschaften eingestellt. Anwendungen umfassen Hartstoffschichten, Diffusionsbarrieren, optische Spiegel, Batterien und Membranen. Schichtwachstum erfolgt u. a. mittels PVD, CVD, galvanischer Abscheidung oder Atomlagenabscheidung.