Dislokationsdiffusion bezeichnet die bevorzugte Diffusion von Atomen entlang von Versetzungslinien, die als schnelle Diffusionspfade mit erhöhter Leerstellenkonzentration wirken. Sie beeinflusst Kriechverhalten, Aushärtung, Segregation und Ausscheidungsbildung in Metallen und Legierungen. Modellierung erfolgt über erweiterte Diffusionsgleichungen, die Gitter-, Korngrenz- und Versetzungsdiffusion koppeln.