Titannitrid

Titannitrid ist eine keramische Verbindung mit NaCl-ähnlicher Gitterstruktur, hoher Härte, thermischer Stabilität und guter elektrischer Leitfähigkeit. In der Werkstofftechnik wird TiN als Verschleiß- und Diffusionsbarrierebeschichtung, Hartstoffschicht, dekorative Schicht sowie als leitfähige Schicht in der Mikroelektronik eingesetzt. Eigenschaften hängen stark von Stöchiometrie, Defektstruktur, Textur und Spannungszustand des Dünnfilms ab.