Eine Pufferschicht ist eine funktionale Zwischenschicht, die chemische, strukturelle oder mechanische Inkompatibilitäten zwischen Substrat und Deckschicht kompensiert. In Dünnschichtsystemen dient sie der Gitteranpassung, Spannungsrelaxation, Diffusionsbarrierebildung und Haftungsverbesserung. In Photovoltaik, Supraleitern oder keramischen Verbunden beeinflusst sie Defektdichte, Textur, Grenzflächenreaktionen und damit elektrische, optische und mechanische Eigenschaften des Gesamtsystems.