Dünnschichtfertigung umfasst Verfahren zur Abscheidung und Strukturierung von Schichten mit Dicken von wenigen Nanometern bis Mikrometern. Typische Techniken sind physikalische und chemische Gasphasenabscheidung, Atomlagenabscheidung, elektrochemische und Sol-Gel-Verfahren. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie die gezielte Einstellung elektronischer, optischer, mechanischer und korrosionsschützender Eigenschaften für Halbleiter, Sensoren, Beschichtungen und Energiematerialien.