Fokussierte Ionenstrahlabtragung nutzt einen fein fokussierten Ionenstrahl (typisch Ga+ oder Ne+), um Material durch Sputtern mit hoher räumlicher Auflösung zu entfernen. Sie ermöglicht präzises Mikro- und Nanostrukturieren, Probenpräparation für TEM-Lamellen sowie Querschnittsanalysen. In der Werkstoffwissenschaft wird FIB-Fräsen oft mit Elektronenmikroskopie und analytischen Techniken kombiniert, um 3D-Mikrostrukturen und Defektpopulationen zu rekonstruieren.