Der anhaltende Trend hin zur Miniaturisierung in verschiedenen Bereichen der Materialforschung erfordert die Möglichkeit der Untersuchung lokaler mechanischer Eigenschaften betreffender Strukturen mittels miniaturisierter mechanischer Versuche. Neben der Nanoindentation werden in jüngster Zeit häufig miniaturisierte Experimente wie beispielsweise Mikrodruck-, Mikrozug-, Mikrobiege- oder Mikrobruchversuche durchgeführt. Die Herstellung der Proben stellt hier eine große Herausforderung dar. Wir stellen daher verschiedene Ansätze zur ortsspezifischen Präparation miniaturisierter Prüfobjekte vor, bei denen Strategien wie chemisches Ätzen, Ionenpolieren mit breitem Strahlenbündel (Broad Beam Ion Milling) und Ionenätzen mit fokussierten Ionenstrahlen (Focused Ion Beam Milling) zum Einsatz kommen. Entsprechend der erforderlichen Probengröße und Präzision werden die typischen Strategien zur Probenherstellung erläutert und die Vor- und Nachteile dieser Techniken behandelt. Im letzten Teil werden Anwendungsbereiche für die mit den verschiedenen Verfahren hergestellten Proben vorgestellt.