Optische Methode

Eine optische Methode nutzt Wechselwirkungen von elektromagnetischer Strahlung im UV‑, VIS‑ oder IR‑Bereich mit Materie zur Charakterisierung von Struktur und Eigenschaften. In der Werkstoffwissenschaft umfassen sie z.B. Ellipsometrie, Spektroskopie, Interferometrie oder Mikroskopie zur Bestimmung von Schichtdicke, Brechungsindex, Rauheit, Phasenanteilen und Dehnungen, häufig in situ und zerstörungsfrei.