Spitzenverschleiß bezeichnet den lokalisierten Materialabtrag an Werkzeug- oder Tastspitzen, etwa bei Zerspanwerkzeugen oder AFM-Kantileverspitzen. Er resultiert aus adhäsivem, abrasivem oder diffusionsgetriebenem Verschleiß unter hoher Kontaktspannung und Temperatur. Spitzenverschleiß verändert Kontaktgeometrie, Spannungszustand und Rauheit, beeinflusst Maßhaltigkeit, Oberflächenintegrität und Messgenauigkeit und wird durch Hartstoffschichten, Schmierung und optimierte Prozessparameter begrenzt.