Die Isotopenverdünnungsanalyse ist ein absolutes quantenbasiertes Verfahren, bei dem einer Probe eine definierte Menge eines isotopenangereicherten Standards zugesetzt wird. Nach vollständiger Isotopenhomogenisierung wird das Isotopenverhältnis massenspektrometrisch bestimmt. In der Werkstoffanalytik erlaubt sie hochgenaue Konzentrationsbestimmung von Spurenelementen, da Matrixeffekte, Verluste bei der Aufbereitung und Instrumentdrift weitgehend kompensiert werden.