Hohlraumbildung beschreibt die Entstehung von mikroskopischen Poren oder Voids infolge Diffusionsungleichgewichten, Phasenumwandlungen, Ausscheidungen oder mechanischer Schädigung. Sie beeinflusst Duktilität, Kriech- und Ermüdungsverhalten und kann zu Versagen durch Porenkokaleszenz führen. In Dünnschichten tritt sie z.B. bei Elektromigration, in Volumenkörpern bei Kriech- und Entmischungsprozessen auf.