Ultra‑Präzisionsbearbeitung umfasst spanende und formgebende Verfahren mit Submikrometer‑ bis Nanometer‑Genauigkeit, etwa Diamantdrehen, ultrapräzises Schleifen und Läppen. Sie erlaubt die Herstellung optischer und funktionaler Oberflächen mit definierter Topographie und sehr niedriger Rauheit. Zentral sind Schwingungsisolierung, thermische Stabilität, Werkzeuggeometrie und Werkstoffantwort im nanoplastischen Regime.