Fokussierter Ionenstrahl

Ein fokussierter Ionenstrahl ist ein eng gebündelter Ionenstrahl, meist Ga⁺ oder Plasmaionen, der zur lokalen Materialabtragung, -modifikation oder -abscheidung genutzt wird. FIB-Systeme ermöglichen site-spezifische Probenpräparation für TEM, Mikro- und Nanostrukturierung, Querschnittsanalysen sowie 3D-Tomographie durch sequentielles Abtragen. In der Werkstoffwissenschaft ist FIB unverzichtbar für präzise Bearbeitung komplexer Mikrostrukturen und korrelative Charakterisierung.