Mikrobearbeitung umfasst spanende, abtragende und formende Verfahren zur Strukturierung von Werkstoffen im Mikro‑ bis Submikrometerbereich, etwa Laser‑, Fokussierte‑Ionenstrahl‑, Ultrakurzpuls‑, Mikrofräs‑ und Lithografieprozesse. Sie erlaubt die Herstellung funktionaler Mikrostrukturen für Mikroelektronik, Mikrofluidik, Medizintechnik und Oberflächenfunktionalisierung, wobei Wechselwirkungen zwischen Werkzeug, Energieeintrag, Wärmeeinflusszone und resultierender Mikrostruktur entscheidend sind.