Mehrschichtsysteme bestehen aus einer Vielzahl abwechselnder Schichten unterschiedlicher Materialien oder Phasen im Nano- bis Mikrometerbereich. Durch gezielte Kombination von Elastizität, Härte, Leitfähigkeit oder chemischer Stabilität können emergente Eigenschaften wie verbesserte Tribologie, Diffusionsbarrieren, optische Filter oder maßgeschneiderte thermische Leitfähigkeit erzielt werden. Grenzflächen, Schichtdicke und Eigenspannungen bestimmen das mechanische und funktionale Verhalten.