In-situ Ätzen bezeichnet die kontrollierte, chemische oder physikalische Abtragung von Material direkt innerhalb des Prozess- oder Analysesystems, etwa während Dünnschichtabscheidung oder Mikroskopie. Es ermöglicht die Reinigung von Oberflächen, Strukturierung, Defektfreilegung und zeitaufgelöste Beobachtung von Reaktionen. Für Werkstoffe sind Ätzkinetik, Selektivität, Anisotropie und mögliche Schädigung oder Rekontamination entscheidend.