Ein Ätzprozess ist ein materialabtragendes Verfahren, bei dem selektiv Volumen durch chemische Reaktionen, physikalisches Sputtern oder plasmagestützte Mechanismen entfernt wird. In der Werkstoffwissenschaft dient er zur Mikrostrukturfreilegung, Oberflächenstrukturierung und Bauteilfertigung. Wichtige Parameter sind Ätzrate, Selektivität, Anisotropie und Maskenstabilität, die die resultierende Topographie und Defektbildung bestimmen.