Gitterfehlanpassung bezeichnet die relative Differenz der Gitterparameter zweier kristalliner Phasen oder Schichten und wird meist als prozentuale Misfit-Spannung angegeben. Sie ist zentral für heteroepitaktisches Wachstum, die Bildung von Versetzungen, Spannungszuständen und Phasenstabilität und steuert so mechanische Eigenschaften, Fehlbildungsdichten sowie elektronische und optische Charakteristika von Dünnschichten und Grenzflächen.