Chemischer Dampftransport

Chemischer Dampftransport ist ein Kristallzuchtverfahren, bei dem ein Feststoff mit einem Transportreagenz flüchtige Spezies bildet, die im Temperaturgradienten in die Gasphase übergehen und an kälteren Zonen wieder zu Einkristallen rekondensieren. Das reversible Gleichgewicht aus Verdampfung, Transport und Kondensation ermöglicht die Reinigung und das Wachstum stöchiometrisch definierter Halbleiter-, Chalkogenid- oder Oxidkristalle. Prozessführung und Reagenzwahl steuern Wachstumsrate, Defekte und Dotierung.

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